廣州潽拓光電科技有限公司——OSAKA真空分子泵
1950年成立的株式會(huì )社大阪真空機器制作所,主要以真空機器、真空泵的開(kāi)發(fā)制造銷(xiāo)售及售后服務(wù)為標準。其真空泵產(chǎn)品的種類(lèi)和覆蓋面十分全,包括渦輪分子泵、干式真空泵、羅茨真空泵、滑閥真空泵、液環(huán)真空泵、噴射泵、真空設備、真空系統等。
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大阪真空的業(yè)務(wù)領(lǐng)域,是通過(guò)真空泵以及相關(guān)技術(shù)·技能,為客戶(hù)提供符合其先端生產(chǎn)工程、分析 、R&D等各個(gè)工作環(huán)節要求的真空系統。 這里對先端的定義、是指在開(kāi)發(fā)新技術(shù)的同時(shí),對原先的技術(shù)加以靈活運用,實(shí)現設備的高度利用、安定利用,從而提高設備的使用效率。
日本大阪分子泵TG-F系列的特點(diǎn)任意角度安裝:360度任意角度安裝,設備的角度可隨意設計!
可以直接安裝在真空腔體上,防止流導損失所導致的排氣速度的減小??煽磕陀茫菏褂昧霜氉蚤_(kāi)發(fā)的軸承,耐大氣沖擊的構造!
另外,耐振動(dòng),可以避免由振動(dòng)引起的泵的問(wèn)題或繁瑣操作。使用破空功能可迅速停止:通過(guò)打開(kāi)破空閥,可以迅速停止泵。
※有些機型無(wú)此功能。迅速啟動(dòng):?jiǎn)?dòng)快,待機時(shí)間短不需要維護:不需要補脂潤滑,也不需要天天維護。
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大阪真空渦輪分子泵越來(lái)越多地用于現代半導體工業(yè)。 濺射、蝕刻、蒸發(fā)、注入、分子束外延和離子處理等設備都需要在真空環(huán)境中運行。 近十年來(lái),國內外渦輪分子泵得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。 在渦輪分子泵的應用日益增多的情況下,干式前級泵并沒(méi)有得到廣泛的推廣和應用,有時(shí)不得不使用油封機械泵作為渦輪分子泵的前級泵。 因此,針對這種情況,渦輪分子泵的合理選擇和正確運行顯得非常重要。
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大阪渦輪(復合)分子泵
用 途■小型實(shí)驗設備的排氣■裝載室,搬送式排氣■分析?測量?jì)x器的排氣■吸附?搬送■的排氣■封裝排氣■電子,離子源的排氣■干燥■濺射蒸鍍等PVD設備排氣■小型爐排氣■分子泵等高真空泵的輔助泵
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分子泵輸送氣體應滿(mǎn)足二個(gè)必要條件:1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。2). 分子泵的轉子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線(xiàn)速度
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